為了實(shí)現(xiàn)較高精度的切削運(yùn)動，高精密機(jī)床加工的運(yùn)動控制普遍采用較高級別的功能部件。

在導(dǎo)軌和軸承方面，由于高精度加工需要實(shí)現(xiàn)高精度和平穩(wěn)的定位運(yùn)動、軌跡運(yùn)動和微小距離運(yùn)動，因此高精度加工機(jī)床采用靜壓絲杠和靜壓導(dǎo)軌較為常見。此外，高精密加工機(jī)床的電主軸也可采取動壓或靜壓軸承的方案，以同時(shí)實(shí)現(xiàn)支承和冷卻功能，并提高主軸的剛度和阻尼性能。

在位置控制方面，由于精密測量是控制高精度加工的前提，要保證機(jī)床的運(yùn)動達(dá)到需要的精度級別，其電子尺的測量精度須要高1~2 個(gè)數(shù)量級。目前高精度加工機(jī)床一般采用分辨率達(dá)0.05~0.1μm 的玻璃光柵。機(jī)床的加工精度、光潔度和刀具壽命與機(jī)床的剛性成正比，因此高精度加工機(jī)床尤其重視床身的設(shè)計(jì)和材料選擇。

其床身材料為球墨鑄鐵，經(jīng)過有限元分析優(yōu)化后，床身的靜態(tài)剛度達(dá)120N/μm，比一般數(shù)控機(jī)床高3 倍，高頻動態(tài)剛度比一般機(jī)床高2~3 倍。此外，JIG 系列機(jī)床的床身采用三點(diǎn)支撐，并將刀庫、電氣柜、托盤交換裝置等周邊系統(tǒng)與床身分離，此舉除可以簡化機(jī)床安裝以外，還有提高機(jī)床穩(wěn)定性、降低床身顫動的作用。